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测量显微镜与影像测量仪的分析
浏览:11 次 发布日期:2018-12-06

  任何光能接收器都是不完善的,在实际测量中并不要求像平面上的像点为一个几何点,而要求根据接收器的特性,规定一个允许的差值。当入射光瞳直径为定值时,便可确定成像空间的深度,在此深度范围内的物体对一定的接收器可得清晰图像在景象平面上所获得的成清晰像的物空间深度称为成像空间的景深,我们简称叫景深。对于影像测量仪和显微镜来说其 Z 轴测量误差主要来源有以下几个方面: 重复性误差、定位误差、温湿度环境引入的误差、

  光栅尺读数系统误差等。其中定位误差来自于 Z 轴聚焦时对实际焦平面聚焦的准确程度。由于景深的存在,在聚焦过程中会在景深范围内产生定位误差,即对于同一聚焦平面的定位有可能在景深的上沿 (即近景平面),也有可能在景深的下沿 (即远景平面)。因为在景深范围内,成像均为清晰,所以景深范围内的所有面都有可能成为聚焦面。Z 轴的定位误差决定于远景平面与近景平面之间的距离,也就是景深。显然景深越小,Z 轴聚焦的范围更加接近于对准平面,则定位误差越小; 景深越大,Z 轴聚焦平面的范围将远离对准平面,则定位误差越大。市面上所谓的大景深测量显微镜均牺牲了Z轴的测量精度,所以我们在测量过程中要探索方法,有效控制景深的大小来提高 Z 轴的测量精度。


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